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一种反铁电?顺电材料耦合的电容器电介质及其制备方法

时间:2017-06-21 14:38:45  来源:  作者:

专利申请号:CN2016109061423

公开号:CN106531442A
申请日:2016.10.18
公开日:2017.03.22
申请人:华南师范大学
本发明公开了一种反铁电?顺电材料耦合的电容器电介质及其制备方法。该反铁电?顺电材料耦合的电容器电介质由反铁电PLZT和顺电STO间隔排布而成。该制备方法包括以下步骤:制备PLZT溶胶和STO溶胶;使用匀胶机将所述PLZT溶胶或STO溶胶旋涂在Pt/Si衬底上,得到第一层涂膜,烘干并退火,得到第一层涂层;然后使用匀胶机将所述STO溶胶或PLZT溶胶旋涂在该第一层涂层上,得到第二层涂膜,烘干并退火,得到第二层涂层;交替进行所述PLZT溶胶和STO溶胶的旋涂和退火工艺,得到PLZT和STO间隔排布的反铁电?顺电材料耦合的电容器电介质。本发明的反铁电PLZT?顺电STO耦合结构有效地改善了纯反铁电PLZT耐压性差的缺点,提升了电容器电介质的能储密度和能储效率。
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